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作為分析儀器中目前檢測金屬元素的常用的方法一般有以下幾種：原子熒光、原子吸收、分光光度法、XRF分析法，ICP及ICP-MS法等。目前土壤檢測分析，主要也是檢測土壤中重金屬含量，現在來看X熒光光譜儀是非常適合用來土壤檢測的。
雖然ICP光譜儀檢測范圍更廣，靈敏度更高，但是因為儀器較大，對于現場使用條件還是相對苛刻一點，而X熒光光譜儀手持式儀器也已經在市面上廣泛流傳，而前段時間，國家關于863計劃項目之“高精度手提式X熒光儀的研發”編號為：2012AA06180301更是推動了手持式熒光光譜儀的應用。
采用X熒光光譜分析法，利用理論α系數校正基體效應，建立Cu、Cr、Ni、Zn、As、Pb六種元素的校正工作曲線。其各元素的校正系數為：Cr對SiO2的α系數為0.3112，對Fe2O3的α系數為0.2711，對CaO的α系數為3.1803；Ni對Fe2O3的α系數為-0.7443，對CaO的α系數為-0.1252；Cu對Fe2O3的α系數為-0.8223，對CaO的α系數為-0.2943；Pb對Fe2O3的α系數為-0.5052，對CaO的α系數為-0.1167；Zn對Fe2O3的α系數為-0.63，對CaO的α系數為-0.1153；As對于Pb的重疊干擾因子校正系數為0.295285。對Fe2O3的α系數為-0.0001，對CaO的α系數為-0.0001。
利用熒光光譜儀對突然污染情況進行分析，并建立好完善的X熒光光譜分析模型，通過數據來分析土壤污染情況，對整個土壤的治理有著至關重要的一步。
