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Mini-Micro LED測(cè)量解決方案

Mini LED是芯片尺寸介于50-200微米的LED器件,其由成數(shù)千個(gè)單獨(dú)的LED燈珠組成,其中多個(gè)LED燈珠組成LED背光矩陣,每個(gè)背光矩陣都可以化成單獨(dú)的控光區(qū)域;Mini LED可以實(shí)現(xiàn)讓屏幕擁有超高對(duì)比度以及精細(xì)化、可調(diào)的局部亮度;其獨(dú)立的區(qū)域燈珠可以在短時(shí)間內(nèi)激發(fā)出較大的亮度。

Micro LED晶片尺寸則小于50微米,其每一個(gè)像素都含有可以自發(fā)光、獨(dú)立控制的RGB三個(gè)LED子像素。Micro LED芯片有尺寸小、集成度高和自發(fā)光等特點(diǎn)在顯示方面與LCDOLED相比在亮度、分辨率、對(duì)比度、能耗、使用壽命、響應(yīng)速度和熱穩(wěn)定性等方面具有更大的優(yōu)勢(shì)

目前Micro LED研究尤為重要,未來隨著生產(chǎn)工藝成熟及產(chǎn)品價(jià)格下移,有望在智能電視、大屏顯示、戶外顯示等多領(lǐng)域?qū)?/span> OLED LCD 形成替代;在VR/AR 設(shè)備、車載顯示等交互式媒體產(chǎn)業(yè)內(nèi)也有望能夠得到快速應(yīng)用。萊森光學(xué)的Mini/Mirco LED解決方案,能夠?yàn)橛行枨蟮目蛻籼峁椭?/span>

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LED點(diǎn)間距已經(jīng)可以做到1mm以下的小間距產(chǎn)品。Micro LED要求間距小于0.01mm,且芯片尺寸小于0.05mmMini LED的間距要求介于小間距LEDMicro LED之間。

一、技術(shù)相關(guān)原理

所有的電磁輻射都是光可見光是光譜中人眼能看到的唯一部分通常,人眼可以檢測(cè)到380~700nm的可見光波長(zhǎng)。在人的一生中,我們的眼睛一直依賴于這一窄波段的電磁輻射來收集關(guān)于世界的信息。

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輻射度學(xué)(radiology)是一門以整個(gè)電磁波段的電磁輻射能測(cè)量為研究對(duì)象的科學(xué)。輻射度測(cè)量主要測(cè)量單位:輻射通量,輻射通量又稱輻射功率,指單位時(shí)間內(nèi)通過某一截面的輻射能,是以輻射形式發(fā)射、傳播或接收的功率,單位為W;輻照度是指入射到單位接收表面積上的輻射功率,單位是W·m-2;輻亮度代表的是擴(kuò)散源在某方向上單位投影面積和單位立體角內(nèi)發(fā)射的輻射功率,單位為W·m-1·sr-1

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光度量

輻射度量是用能量單位描述輻射能的客觀物理量。光度量是光輻射能為平均人眼接受所引起的視覺刺激大小的度量,即光度量是具有平均人眼視覺響應(yīng)特性的人眼所接收到的輻射量的度量。

光通量定義為單位時(shí)間內(nèi)的光流量。以流體作為比方,它類似于每分鐘流過多少升水。光的流量是指光源所產(chǎn)生的總的光能,沒有指定方向、距離或強(qiáng)度。表示從此光源中放射出來的光的量的用語叫光通量。單位是lm

 

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光照度是指光源照射到物體表面一個(gè)面元上的光通量除以該面元的面積,即單位面積上所接收的光通量大小。單位是lxlm/m2)。

光亮度光亮度又稱發(fā)光率,是指一個(gè)表面的明亮程度,以L表示,即從一個(gè)表面反射出來的光通量。或者說是指在某方向上單位投影面積的面光源沿該方向的發(fā)光強(qiáng)度。單位是c/m2或lmm2*sr)。

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光通量、光強(qiáng)、照度、亮度之間的關(guān)系示意圖

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色度學(xué)

物理學(xué)里面研究的是光的客觀屬性及其規(guī)律,色度學(xué)里面研究的是人眼感知的主觀屬性及其規(guī)律,所以色度學(xué)是建立在人眼的基礎(chǔ)之上的。人類有三種錐細(xì)胞,紅色光刺激紅細(xì)胞,藍(lán)色光刺激藍(lán)細(xì)胞,綠色光刺激綠細(xì)胞,而黃色光既可以刺激綠細(xì)胞,也可以刺激紅細(xì)胞。

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色光三原色

顏色是外來的光刺激作用于人的視覺器官而產(chǎn)生的主觀感覺。因而物體的顏色不僅取決于物體本身,還與光源、周圍環(huán)境的顏色,以及觀察者的視覺系統(tǒng)有關(guān)系。一般來說可見光譜上的各種顏色隨光強(qiáng)度的增加而有所變化(向紅色或藍(lán)色變化)。這種顏色隨光強(qiáng)度而變化的現(xiàn)象﹐叫做貝楚德-樸爾克效應(yīng)。但在光譜上黃(527nm)﹑綠(503nm)﹑藍(lán)(478nm)三點(diǎn)基本上不隨光強(qiáng)而變。

如果被測(cè)定的有色物質(zhì)的每個(gè)三刺激值被三個(gè)總和除,則每種原色在總刺激部分中所占的比例就極易得到,因?yàn)樗鼈兊目倲?shù)為1,0000。兩個(gè)系數(shù)就足可說明色性了。這種比例數(shù)值就叫色性坐標(biāo),或色性系數(shù),也叫三色系數(shù)。顯然,所謂色性系數(shù),就是指某原色的刺激量在三種原色的總刺激量中所占的比例。

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CIE 1931光譜三刺激值曲線                              色度圖

三刺激值:

X = K * Σ ( φ(λ) * x(λ) * Δλ )

Y = K * Σ ( φ(λ) * y(λ) * Δλ )

Z = K * Σ ( φ(λ) * z(λ) * Δλ )

其中:

K:歸一化系數(shù)

φ(λ):色刺激函數(shù)

x(λ)、y(λ)、z(λ):色匹配函數(shù)

Δλ:積分步距,通常5nm或1nm

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LED燈光譜

 

二、測(cè)量方案

光通量的測(cè)量方案

積分球進(jìn)行光采集是最常用的LED輻射測(cè)量方式,可根據(jù)測(cè)試產(chǎn)品的發(fā)光面大小選擇2π積分球測(cè)量或4π積分球測(cè)量、或根據(jù)測(cè)試方式不同來進(jìn)行積分球的選擇。

光源在外:

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測(cè)試原理圖

測(cè)量裝置:

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iSpecRad-UV100-CAL光譜輻射儀測(cè)量原理圖

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iSpecRad-UV100-CAL光譜輻射儀系統(tǒng)實(shí)物連接圖

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軟件界面

光源在內(nèi):

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測(cè)試原理圖

通常可用于燈具等較大的發(fā)光物體,積分球在理想條件下,能將待測(cè)光源輻射出來的光散射成積分球內(nèi)壁單位面積照度一致,且創(chuàng)造一個(gè)暗室環(huán)境,避免雜散光的影響。一般,為了避免被測(cè)光源直接輻射到探頭,一般會(huì)增加擋板,擋板帶來的誤差,與第二步一起校準(zhǔn)。

LED輻射測(cè)量積分球選擇:

1. 4π測(cè)量:主要應(yīng)用于燈具、燈帶等發(fā)光面積較大的產(chǎn)品測(cè)試。

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2. 2π測(cè)量:主要應(yīng)用于LED燈珠、二極管等單一小發(fā)光源的產(chǎn)品測(cè)試。

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晶圓測(cè)量方案

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晶圓加工之后、封裝之前,需要對(duì)晶圓芯片上的所有小晶片進(jìn)行光度量的測(cè)試。利用探針接觸晶圓上的晶粒使其發(fā)光,光透過高透光石英盤后進(jìn)入積分球。

光照度測(cè)量

利用余弦輻射探頭進(jìn)行光信號(hào)采集,進(jìn)行待測(cè)光源光照度測(cè)量。針對(duì)不同的光源可采用不同直徑的余弦探頭。

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采集示意圖

光亮度測(cè)量

利用鏡頭進(jìn)行光信號(hào)采集,進(jìn)行待測(cè)光源的輻射亮度,光譜輻射亮度,發(fā)光強(qiáng)度,光亮度等與接收角度有關(guān)的輻射參數(shù)測(cè)量。

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采集示意圖

低流明的測(cè)量方案

Micro LED的體積小且為嵌入式結(jié)構(gòu),導(dǎo)致光信號(hào)采集困難。有些器件的光是從100×10-9流明到1×10-1流明,因此需要使用擁有高靈敏度和寬動(dòng)態(tài)范圍的測(cè)量系統(tǒng)進(jìn)行測(cè)量。

通過以下兩種低流明測(cè)試方案,可對(duì)miro LED進(jìn)行光通量和顏色的測(cè)試。

亞微級(jí)別流明測(cè)量系統(tǒng):

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亞微級(jí)別流明測(cè)量系統(tǒng)由五個(gè)部分組成:

①高靈敏度光譜儀;②定制的集成積分球;③測(cè)試樣品;④電腦測(cè)試軟件;⑤電流源。

可測(cè)量低至10-7流明,積分球能夠收集Mini-Micro LED發(fā)出的不同角度發(fā)散角的光源。

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測(cè)量示意圖                          LED光源光譜分布圖   

納流明測(cè)量系統(tǒng):

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納流明測(cè)量系統(tǒng)由七個(gè)部分組成:

①高靈敏度光譜儀;②定制的集成積分球;③用于納流明校準(zhǔn)標(biāo)準(zhǔn)的光源;④;電腦測(cè)試軟件⑤光電倍增管;⑥光度計(jì);⑦電流源。測(cè)量范圍相較于亞微級(jí)別流明測(cè)量系統(tǒng)更低,能夠在非常低的光水平調(diào)整任何顏色和光譜,同時(shí)保持準(zhǔn)確性與穩(wěn)定性。

在本套解決方案中,我們可以根據(jù)不同的需求配置不同的配件,以下將對(duì)這些配件進(jìn)行詳細(xì)分析。

 

光譜儀

使用時(shí)可根據(jù)待測(cè)光源的發(fā)光強(qiáng)度強(qiáng)弱配置LISpec-UV100、LISpec-HS400、LiSpec-HSR100-TEC系列光譜儀萊森光學(xué)的光譜儀擁有獨(dú)有降噪低噪聲電路控制技術(shù),光譜儀暗噪聲極低,具有優(yōu)良的穩(wěn)定性高信噪比。

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積分球:

根據(jù)測(cè)試產(chǎn)品的發(fā)光面大小、測(cè)試方式來進(jìn)行積分球的選擇。萊森光學(xué)可根據(jù)測(cè)試需求定制集成積分球。

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鏡頭:

LS-FOL 光纖準(zhǔn)直聚焦鏡頭鏡頭進(jìn)行光信號(hào)采集,可根據(jù)需求選擇鏡頭的角度,用來測(cè)量積分球無法測(cè)量的需要經(jīng)過角度換算的一些參數(shù)

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余弦輻射探頭:

使用余弦輻射探頭進(jìn)行光信號(hào)采集的優(yōu)點(diǎn)是系統(tǒng)搭建方便,采集模塊體積小,性價(jià)比高;缺點(diǎn)是對(duì)環(huán)境要求較高,需全暗環(huán)境,且測(cè)試精度較積分球測(cè)試差,受外界影響波動(dòng)比較大。

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